产品描述
PGS/PGM 1000光谱仪凭借优异的消像差设计，可实现一机两用，配合单通道探测器作为单色仪，配合CCD使用作为摄谱仪。光路由一片消像差平面光栅和一片超环面镜组成，为极紫外光谱分析优化设计。掠入射光路设计将可探测波长拓展到软X射线，与此同时，摄谱仪模式下焦平面垂直于出射光轴，使CCD上接受的光通量zei大化。
技术特点
HJY专利的消像差平面光栅结合超环面镜，同时兼顾高分辨率和低像差。
在轴设计，光路易准直。
出射光直射CCD表面，光通量大。
只需更换出射狭缝和法兰，即可实现单色仪和摄谱仪之间的切换，一机两用。
支持超高真空10-9mbar，可接入同步辐射装置。
光谱范围覆盖到4nm，4-16nm具有超高分辨率
典型应用
紫外可调滤波/光源
激光高次谐波
等离子体物理研究
X射线光电子能谱
EUV光源表征
技术指标
三块标准光栅可选 | |
54403130 (仅提供母光栅) | 3600gr/mm 光栅， 光谱范围：4-16nm (77-310 eV) 出射端线色散: 0.2-0.5nm/mm 平均分辨率: 0.05nm |
54402130 | 1800gr/mm 光栅， 摄谱仪模式下 光谱范围：8-32nm(39-155eV) 或 7-32.5nm 出射端线色散：0.04-0.1nm/mm 平均分辨率：0.1nm |
54401130 | 550gr/mm 光栅， 摄谱仪模式下 光谱范围：30-125nm (10-41eV) 或26-126nm 出射端线色散：0.08-0.3nm/mm 平均分辨率：0.3nm |
光学设计 | HJY专利平面光栅加超环面镜光路设计 |
焦长 | |
孔径 | f/48 |
分辨率 | 低至0.02nm |
波长驱动 | 步进电机，USB2.0接口 |
高真空 | 10-6 mbar |
真空泵法兰 | DN63 LF |
狭缝 | 测微狭缝 |
阵列探测器法兰 | DN100CF/ICF152 |
可选项: | |
狭缝 | 固定或内置可切换狭缝 |
超高真空 | 10-9 mbar配备DN100CF 真空泵法兰和DN40CF真空计法兰 |
附件
前镜腔，配备两块超环面镜，实现光源和单色仪之间的光学匹配
后镜腔，配备两块超环面镜，实现单色仪和样品室之间的光学匹配
样品室，可搭载4块直径不大于25mm的样品
偏振插片
制冷机，zei低至4K
真空泵
