In-situ series 在线椭偏仪
价格：面议

In-situ series 在线椭偏仪

产品属性

  • 品牌堀场HORIBA
  • 产地法国
  • 型号In-situ series
  • 关注度1188
  • 信息完整度
  • 供应商性质生产商
  • 产地类别进口
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产地：法国； 品牌：堀场HORIBA
产品描述

在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。


技术参数：

·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化


主要特点：

将激发和探测头引入生产设备，可实现：

· 动态模式:实时监测膜厚变化

· 光谱模式：监测薄膜的界面和组分


HORIBA科学仪器事业部

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