产品名称:镀金镀碳联用仪(离子溅射仪)
品牌:CRESSINGTON
型号:108
镀金镀碳联用仪(离子溅射仪) 特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜,同时又用于扫描电镜能谱分析。
镀金镀碳联用仪(离子溅射仪) 主要特性
1 通过1个真空泵相连,在既可以保证良好镀金镀碳效果的同时,又不会产生碳和金属的任何交叉污染。
2 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
3 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和zei佳的镀膜效果。
4 可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。
5 独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚20nm左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。
6 使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。
7 使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。