产品描述
国仪量子 场发射扫描电镜 SEM5000适用于形貌分析，元素分析，比表面项目，参考多项行业标准。可以检测锂电材料等样品。可应用于原料药/中间体行业领域。
随着国家全面推进“碳达峰、碳中和”战略，新能源产业成为实现国家双碳目标、推动 能源转型的重要力量。锂离子电池以其体积小、能量密度高、循环寿命长、环境污染小 等优点，覆盖消费电子产品、电动工具、新能源汽车、清洁电器、储能等众多应用场景， 是促进新能源产业发展的重要力量。这也对锂离子电池制造的相关材料、工艺技术、效 益、成本、制造装备等方面提出了更高要求。
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
| 关键参数 | 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV |
| 加速电压 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 |
| 摄像头 | 双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） | |
| 行程 | X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm T: -10°～ +70°, R: 360° | |
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内高角度电子探测器 侧向低角度电子探测器 |
| 选配 | 平插式中角度背散射电子探测器 STEM自动伸缩式扫描透射探测器 样品交换仓 高速束闸和电子束曝光 EDS能谱仪 EBSD背散射衍射 EBIC电子束感生电流 CL阴极荧光 高低温原位拉伸台 纳米机械手 大图拼接 | |
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型：高亮度肖特基场发射电子枪
分辨率：1.0 nm @ 15 kV；1.5 nm @ 1 kV
放大倍率：1 ~ 2,500,000 x
加速电压：20 V ~ 30 k
样品台：五轴全自动样品台
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
