雪迪龙色谱分析仪系列FID500/600用于测定过程气体，符合行业标准。适用O2，N2，H2，He，Ar，CO，CO2，H2O，CH4，NMHC项目。

电子特气的品质主要取决于其纯度和净度，一旦纯度或是净度不达标，轻则使得下游产品质量不过关，重则扩散污染整条产品线，造成严重浪费。为了保证产品的合格率，避免经济损失，半导体制造商会对气体供应商提供的气体纯度做出严格要求，通过使用多种气体纯化技术并实时连续监测气体纯度，以确保输送到制造全过程的超纯气体的质量。

雪迪龙公司为半导体制造商提供过程气体分析一站式解决方案，在电子特气进入硅晶圆制造工艺之前，就开启连续监测，并通过自主研发的软件包实时分析和反馈，满足对晶圆制造过程中各种气体及杂质进行在线实时监测的需求。

产品概述

FID500/600是比利时ORTHODYNE公司生产的工业级气相色谱仪，配置氢火焰离子化检测器测量碳氢化合物，可选择在线或实验室离线型号。

产品特点

ORTHODYNE比利时进口分析仪；

火焰熄灭氢气电磁阀自动关闭保护，且具有开机自动点火功能；

具有自动诊断和自动标定功能；

可通过互联网连接工作站软件，进行远程专家级诊断。