氮化硅（Si₃N₄），一种新型耐火材料，它具有高密度、耐腐蚀和耐高温等特点,广泛应用于冶金工业、机械工业、半导体、航空、原子能工业及医疗器械行业。研发发现，氮化硅的高温性能等特性随着某些金属微量金属元素含量的减少而明显改善，所以对其中的微量金属如铁（Fe）进行准确的分析有着重要的意义。

一般测定微量金属元素含量的方法有原子吸收法、电感耦合等离子体发射光谱法、电感耦合等离子体质谱法等。电感耦合等离子体发射光谱法因具有检测限低、精密度好、准确度高且可同时测定多个元素等优点，而得到分析工作者的青睐。

• 极低的检出限，可低至ppt 范围

• 整个质量数范围内对未知样品快速筛选

• 同位素的比例精确度媲美TIMS

• 专利离子白化器用于消除有干扰的质量数

• 八极杆碰撞池(OCC) zei大程度地减少样品分析过程中的干扰

• 改进的真空系统，引入额外的260L/s 涡轮泵，补充OCC 需要增加的气体负荷