• JXA-iSP200 电子探针显微分析仪

• 可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。

产品特点：

• 可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。

• 日本电子新开发出的EPMA （电子探针）秉承近半个世纪的EPMA的发展历史，JXA-8230具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析，这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-8230电子探针是下一代能完全满足多种需求的强力分析工具之一。

• 2020年升级为JXA-iSP200。
  

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• EPMA快速启动

• 点击任何一点，就能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。
  

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• 用户菜单（User recipes）

• 能保存或调用经常使用的各种不同类型的样品分析条件，菜单中包括了全部的电子光学参数、EDS和WDS参数在内。
  

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• EDS 的性能

• 数字化脉冲处理器

• 全谱面分布(WD/ED, 样品台和电子束扫描)

• 无风扇SDD (选配)

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• 技术规格：

• 检测元素范围WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～U
  

• X射线检测范围WDS检测的波长范围:  0.087～9.3nm,

• EDS EDS检测的能量范围:  20keV

• 分光谱仪数量WDS: 1～5道可选、EDS: 1台

• zei大样品尺寸100mm × 100mm × 50mm（H）

• 加速电压0～30kV（以0.1 kV为步长）

• 束流电流范围10-12 ～ 10-5 A

• 束流电流稳定度5%/h, ±0.3%/12h（W）

• 二次电子分辨率6nm（W）, 5nm（LaB6）*2

• （W.D. 11mm, 30kV）

• 扫描倍率×40 ～  ×300,000（W. D. 11mm）

• 扫描图像分辨率zei大 5,120× 3,840

• 彩色显示器EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024

• SEM操作、 EDS分析用:  LCD 1,280 × 1,024

• 光学显微镜

• 分辨率～1um

• 焦深1um

• 真空系统机械泵、分子泵、离子泵 *2

• 真空度样品室:  优于8.0 x 10-4Pa,

• 电子枪:  优于9.0 x 10^-5Pa