Adgarde室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪 器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏测试。

探针台的组成

探针台框架：蝶形底座、探针臂托板、支撑板和加强块

气路控制：气路开关和抽气泵

样品台部分：滑台和样品座

探针臂部件：探针臂和探针

光学系统：CCD、显示器和支架

样品台

样品座尺寸：4英寸，可定制2/6/8英寸

样品座类型：接地样品座

样品座材质：无氧铜镀金

样品固定方式：多孔吸附

x-y-z移动行程：X-25mm,Y-25mm,Z-13mm

滑台移动行程：X-±50mm，Y-±50mm

移动精度：10μm

滑台尺寸：250mm×250mm

光学系统

显微镜放大倍数：10-180倍

光源类型：LED环形光

显微镜支架升降范围：65mm

显示器屏幕尺寸：21.5英寸

CCD相机分辨率：3800万像素

（最小可视分辨率可达3um以内，与市面上最先进的探针台光学系统相当，测试方法采用1951分辨率测试靶）

最大工作距离：100mm

探针台的选件

直流探针

直流探针的选择主要有钨探针和铍铜探针两种，下列表格将钨探针和铍铜探针进行了相关参数和性能的描述。

光学平台和屏蔽箱

光学平台可以为探针台提供一个水平、防震动的支架平台，将探针台放置上面可以更好的避免不必要的因素影响实验结果。

台面尺寸可定制

台面高度可自由伸缩（可定制）

屏蔽箱可以为测试器件提供一个防外界干扰的环境，屏蔽掉环境中的电磁干扰，进而保证了测试结果的准确性。

三同轴信号对接

操作方式是对开操作

尺寸可定制

产品优势

探针臂优势

我们的PSF-M的探针臂底座采用螺钉固定，避免了磁力吸附固定带来的磁场干扰以及真空吸附在不开启真空泵即无法固定的问题，同时可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，并且可360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置

探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，线缆均设置在内部，漏电性小，漏电流在100fA以内。

走线合理，人性化设计

螺丝固定

探针优势

探针的固定方式为针套固定，换针简单易操作，且探针稳固，漏电流小

针套固定