RF-120系列是多功能电源,标配DeviceNet,RS232C和模拟接口,以及模式操作,弧形切割/计数功能,过去数据存储等。 我们还提供可与每个电源组合的匹配设备(匹配网络)。
特点
根据模式操作
射频电源内的预设输出和时间数据自动控制输出 每个模式最多可设置 5 个点
圆弧切割功能
电弧计数功能
计算电弧出现的次数,并在达到设定次数时停止输出。
脉冲操作(可选)
脉冲周期:100Hz~10kHz,占空比:20~80%
*脉冲发生器需单独使用
同步运行 连接到其他高频电源,可以同步运行
启动慢/减速
反射限幅器延续限制
测量自反射功率限制器运行以来经过的时间,并在达到设定时间时停止输出。
将过去数据存储异常时间过去
30秒的内部数据输出到外部
当匹配完成确认反射功率小于设定值时输出确认
信号。
圆弧切割操作确认输出
限幅器操作检查输出
入射和反射功率监视器输出
输入上电验证输出
射频输出检查输出
异常确认信号输出
设备网络,RS232C,模拟
CE标志一致性(不包括某些型号)
可选功能
手动控制面板 (RF-56000)
移相器
水冷入门端子(用于离子电镀)
使用示例
规格和选项
射频-12010
射频-12020
射频-12030
射频-12040
最大功率输出
输出连接器
输入电压
输入电流
振荡方式
振荡频率
输出稳定性
脉动
谐波失真
冷却方式
外部尺寸(毫米)
宽度
深度
高度
重量(公斤)
750瓦 | 1.5千瓦 | 3千瓦 | 6千瓦 |
N型 | LS2 | ||
交流 200V ±10V,三相,50/60 Hz | |||
交流 5A | 交流 8A | 交流 20A | 交流 35A |
其他激发晶体振荡 | |||
13.56兆赫 ±0.005% | |||
± 0.5%以下(最大输出,相对于50Ω阻性负载) | |||
1%以下(最大输出,相对于50Ω阻性负载) | |||
- 最大功率时为 50 dB | |||
强制风冷 | 水冷式 | ||
5~7升/分 | 5~6.5升/分 | ||
481 | 481 | 481 | 481 |
430 | 504 | 504 | 510 |
149 | 199 | 199 | 349 |
18 | 25 | 27 | 55 |
RF-12040由单元1(149毫米高/25千克)和单元2(199毫米高/30千克)组成。
外部尺寸不包括突起(例如后风扇)。
RF-56000外形尺寸 : 105毫米(宽)×305毫米(深)×145毫米(高)
这是用于等离子体生成的13.56MHz高频电源(RF电源),用于溅射、蚀刻、CVD和离子镀等薄膜制造和加工。