SBC-2型试样表面处理机
SBC-2型试样表面处理机离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
产品特点:
抽速快
操作简便
真空度高
安全可靠
技术指标:
抽气系统 | 机械泵+分子泵 | 极限真空度 | ≤2 x 10-3 Pa |
溅射电压 | 3 KV | 试样运动方式 | 平面转动、倾斜旋转 |
产品尺寸 | 金靶尺寸:Φ38 mm; 试样台尺寸:Φ40 mm; 钟罩尺寸:Ф250 mm x H340 mm; 蒸发镀玻璃罩尺寸:Φ88 mm x H140 mm; 溅射镀玻璃罩尺寸:Ф88 mm x H57 mm; |
应用领域:
该仪器为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备,可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射。