产品描述
SBC-2型试样表面处理机
离子溅射仪为二极结构，通过台和样品架为正电极连接仪器外壳并且接地，负电极(加负高压)为溅射靶电极。其在玻璃罩的真空腔内被安装，当腔内达到一定真空度，其中在电场加速下，足够能量为正离子所获得来对负电极上的靶面进行轰击，靶面被溅射原子于基台的样品表面沉淀使得导电膜形成，提供来被上述仪器进行分析。
产品特点：
抽速快
操作简便
真空度高
安全可靠
技术指标：
| 抽气系统 | 机械泵+分子泵 | 极限真空度 | ≤2 x 10-3 Pa |
| 溅射电压 | 3 KV | 试样运动方式 | 平面转动、倾斜旋转 |
| 产品尺寸 | 金靶尺寸：Φ38 mm； 试样台尺寸：Φ40 mm； 钟罩尺寸：Ф250 mm x H340 mm； 蒸发镀玻璃罩尺寸：Φ88 mm x H140 mm； 溅射镀玻璃罩尺寸：Ф88 mm x H57 mm； | ||
应用领域：
该仪器为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射。
