SBC-2型试样表面处理机
离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。
产品特点:
抽速快
操作简便
真空度高
安全可靠
技术指标:
抽气系统 | 机械泵+分子泵 | 极限真空度 | ≤2 x 10-3 Pa |
溅射电压 | 3 KV | 试样运动方式 | 平面转动、倾斜旋转 |
产品尺寸 | 金靶尺寸:Φ38 mm; 试样台尺寸:Φ40 mm; 钟罩尺寸:Ф250 mm x H340 mm; 蒸发镀玻璃罩尺寸:Φ88 mm x H140 mm; 溅射镀玻璃罩尺寸:Ф88 mm x H57 mm; |
应用领域:
该仪器为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备,可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射。