在机械加工行业，表面功能膜、超硬膜和自润滑膜的表面沉积技术自诞生以来取得了长足进步，可有效提高表面硬度、复合韧性、耐磨性和高温化学稳定性，从而大大提高涂层产品的使用寿命。

产品特点

• 全自动控制，无需调整针阀

• 专利结构，靶材更换非常简单

• 特殊密封结构，玻璃不易损伤

• 专利结构，样品台高度调整方便

• 内置操作向导，无需培训即可熟练操作

应用领域

本仪器主要适用于扫描电镜镀覆导电膜，仪器操作简单方便，是样品制备所必备的仪器。适用的靶材：金、铂、金钯合金、银、铅、铜、铬、锑等

技术指标

• 工作方式：磁控溅射

• 外形尺寸：424(L)×271(D)×255(H)mm

• 极限真空：＜1Pa

• 溅射靶材：金、铂、金钯合金、银、铅、铜、铬、锑等

• 工作介质：空气或氩气

• 真空室：高硅硼玻璃φ128×100mm