KYKY-EM6900LV系列扫描电子显微镜
描电子显微镜是用电子枪射出电子束聚焦后在样品表面上做光栅状扫描的一种方法,它通过探测电子作用于样品所产生的信号来观察并分析样品表面的组成,形态和结构。 入射电子作用于样品会激发多种信息,如二次电子,背散射电子,吸收电子,俄歇电子,阴极荧光,特征X射线(见图1)等等。 扫描电镜(SEM)主要是通过二次电子,背散射电子和特征X射线(XRD)信号来分析试样表面特性。
产品特点:
具备较高分辨率,满足大多数样品的微观形貌测试,尤其适合不便喷涂导电膜的试样
翻开式枪室结构钨丝阴极,更换灯丝方便
独特的结构可实现样品室低真空氛围(10-270Pa),有效降低电荷积累
成像效果优良,细节清晰,景深大
中英文菜单,一键成像
易操作,低故障,适合多试样测试
自动功能:电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等
自动校正,自动故障检测
技术指标:
分辨率 | 3nm@30KV(SE,高真空); 6nm@30KV(BSE,高、低真空) | 放大倍率 | 8~300000 倍 |
电子枪 | 翻开式预对中钨丝阴极 | 加速电压 | 0~30kV连续可调,0-10kV步进量为100V,10kV以上步进量为1kV |
中英文菜单 | 具有一键切换功能 | 低真空模式 | 10~270Pa,真空切换时间小于90秒 |
样品台 | 四轴自动样品台 |
应用领域:
生命科学、动植物、微生物、半导体等敏感试样等