上海上海交通大学
北京北京大学物理系
辽宁辽宁省盐碱地研究院
北京中国科学院大学
KYKY-EM8000场发射扫描电子显微镜
KYKY-EM8000场发射扫描电子显微镜由电子枪发射电子 ,以交叉斑作为电子源,经二级透镜及物镜的缩小形成具有一 定能量、 一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、 空间顺序作栅网式扫描。试样在电子束作用下,激发出各种信号,信号强度取决于试样表面状 况。这些信号被探测器收集并经视频放大后输入显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度,得到反映试样表面形貌的电子图像。
产品特点:
高性能肖特基场发射电子枪,亮度高、单色性好、束斑小,寿命更长
低加速电压下,保持较好的亮度、分辨率
低加速电压不导电样品可以直接观测,无需喷金
束流稳定度高,满足长时间工作需求
满足用户定制化需求,适合多模块嵌入,多系统互联
易操作,易维护,性价比高,性能远高于普通钨灯丝类电镜
技术指标:
分辨率 | 1.5nm@15KV(SE); 3nm@30KV(BSE) | 放大倍率 | 8~800000 倍 |
电子枪 | 肖特基场发射电子枪 | 加速电压 | 0~30kV |
样品台 | 手动样品台(标配)、 五轴全自动预对中样品台(选配) | 探测器 | 高真空二次电子探测器(具备防碰撞功能) |
透镜系统 | 多级高性能锥形透镜系统 |
应用领域:
电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料