产品描述
CXF-200/1401型磁悬浮分子泵
应用场景
由于磁悬浮分子泵具有高精密度、高效率、高可靠性等优点，因此广泛应用于微电子、半导体、平板显示、真空冶金、真空包装等领域。特别是在半导体行业，磁悬浮分子泵已成为制造工艺中必不可少的核心设备之一，可以有效保护芯片、提高芯片质量、降低成本。
产品特点
节能：无摩擦，避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
技术指标
| 抽气速率（l/s） | N2：1400 Ar：1360 He：880 H2：560 | 压缩比 | N2：＞1E7 Ar：＞1E7 He：＞1E4 H2：＞1E3 |
| 极限压强（Pa） | 10-6（橡胶密封） 10-7（金属密封） | 进气口法兰 | DN200 ISO F（标配） DN200 CF(可选) DN200 LF(可定制) |
| 额定转速（rpm） | 30000 | 启动时间（min） | ≤6 |
| 停机时间（min） | ≤16 | 安装方式 | 任意角度 |
| 冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速（l/s） | ≥16 |
磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备，抽速为1400L/s到3000L/s，应用压力范围为20Pa到10-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。
