主要性能特点:
•超宽加速电压范围:100eV到10kV,不同加速电压下,
•离子束束斑均保持最细最优束斑状态
•每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测
•采用可调
简洁
•配备横 截面切割装载及定位工具
•配备磁编码器,带有样品测厚 功能,自动匹配最佳抛光位置,保证最佳的抛光质量和效率
•抛光角度范围:0°到 +10°连续可调
•具备原位实时观察及记录抛光过程功能
•可通过时间或温度自动停止
•可选液氮冷台配置,去除热效应对样品的损伤
•可选真空或惰性气体转移装置,隔绝样品与水氧接