产品描述
产品特点
业界第yi家光谱型椭偏仪测试设备厂商 |
业界标准测试机构定标设备，参与发布中华人民共和国椭圆偏振测试技术标准 |
非接触、无损测试所测样品无损伤的测量 |
业界最宽测试光谱范围，选配135nm-25um，并可自动切换快速探测模式和高精度探测模式 |
测试功能延展性强，并支持后续升级服务 |
定期免费升级SOPRA材料数据库 |
开放光学模型拟合分析过程，方便用户优化测试菜单 |
主要应用
光伏行业：晶硅电池减反膜、薄膜电池透明导电膜、非晶硅微晶硅薄膜电池、CIGS薄膜电池、CdTe薄膜电池、有机电池、染剂敏感太阳能电池 |
半导体行业：High-K、Low-K、金属、光刻工艺、半导体镀膜工艺、外延工艺 |
平板显示行业：TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色滤光片 |
光电行业：光波导、减反膜、III-V族器件、MEMS、溶胶凝胶 |
主要技术指标
测试速度：＜1 sec （快速测试模式） |
测量光谱分辨率：＜0.5nm@633nm （高分辨率测试模式） |
最大样品尺寸： 300mm |
厚度测量范围：0.01nm-50um |
厚度测试精度：0.02nm @120nm SiO2 on Si |
折射率测试精度：0.002 @120nm SiO2 on Si |
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