Precision Hydrogen CVD

Peak可提供CVD用气解决方案所需的Precision氢气发生器1200cc、去离子水净化系统、8L水瓶及其他耗材。

使用Peak的级联技术，其中一台发生器将管理整个系统，可同时运行多台Precision氢气发生器，以优化输出流量，并均衡分配每台发生器的运行时间，从而延长发生器的使用寿命。

部件号:3301768
           

状态                    可购                        i                

内置空压机                    No

特征

• 纯度高达99.99999%，为CVD钻石培育提供氢气解决方案

• 流量高达1200 cc/min，通过级联多台设备可获得更高流速

• 经验证的质子交换膜技术，可按需产生高纯度的氢气

• 安全性高，配备自动泄漏检测和自动关机功能

• 紧凑、模块化、可堆叠的设计，充分利用空间

• 一键式开关，操作便捷

• 12个月全面质保

气体

气体种类: 氢气

气体流速:                                        1200cc/min

出口压力:                                        100psi/6.9bar

场地及安装

气体出口装置:                                    1 x 1/8” Swagelok compression fitting

水质要求:                                    ASTM Type II (<1 µS/cm / >1 MΩ-cm)

耗水量:                                    up to 2.1 L/Day

耗电量:                                    787 Watts

电压:                                    110 / 230

频率:                                    50 / 60

电流:                                    2.3 - 4.8 Amps

热输出:                                    1000

工作温度:                                    35°C / 95°F

证书:                                    CE, FCC, CSA