光伏电池飞秒激光工作站 SOLLAS

SOLLAS是WOP专门为硅基太阳能电池行业开发的激光加工机床，配置有飞秒紫外激光器和纳秒红外激光器，具有多任务操作功能，用于工业和研究，最高产能3MW/a。

光伏电池激光加工优势：

·   晶圆更薄

·   破损率更低

·   精密深度控制

·   飞秒激光冷加工

·   参数调整，促进生产开发

·   选择性刻蚀（根据不同材料控制能量传递）

产品特点：

·   工业研究生产线产量2.5 MW/a

·   飞秒紫外和纳秒红外激光源

·   机器视觉系统探测旋转和调整激光扫描区域

·   使用高性能扫描振镜精细激光束控制

·   5”和6”晶圆加工

·   生产模式下直观的触摸屏用户使用界面（SCA工程设计）

·   研究模式下全功能软件（SCA工程设计）

SOLLAS 执行4项工艺：

·   选择性刻蚀SiNx/SiO2

·   后触点激光烧制

·   边缘绝缘处理

·   激光标刻

·   可行性测试后整合其他加工过程

1.     全能型太阳能电池激光刻槽机使用飞秒紫外激光光源对SiNx/SiO2选择性刻蚀。这种超精确刻蚀SiNx层的工艺对Si层的影响（直接或热效应）最小，不但延长了载流子寿命而且可以避免微裂纹。

2.     纳秒红外光纤激光器执行其他三个过程，在提高加工速度方面有巨大优势。

3.     自动硅片传送和扫描系统支持5″ 和6″直径晶体硅硅片。

4.     综合机器视觉系统和调整激光束扫描场的能力保证了高重复性和可靠性。

5.     系统配置一个一级激光安全罩和保证激光无尘工作环境的综合除尘系统。

6.     使用拥有生产和研发模式的灵活的，友好的软件ALTSE-SCA控制系统。 

应用举例：

晶圆加工

使用UV飞秒激光脉冲刻蚀单晶圆上SiNx