上海仪真Teledyne IRIDIA  极速成像激光剥蚀系统 多次使用的反射镜设计

仪器简介：

激光剥蚀/激光烧蚀产品线源于全球行业翘楚之一的Photon Machines团队（缩写PMI），其第一代产品于1995年问世，该品牌具有丰富的激光剥蚀产品设计、研发、制造及应用经验，产品线涉及213nm固体激光、193nm准分子激光、飞秒激光系统（与ICP-MS联用），及CO2和二极管激光熔融系统（与惰性气体同位素质谱联用），此外多种高性能配件与更加直观的分析软件能够增强并完善系统的功能，足以为全球元素分析用户提供先进的激光剥蚀技术。

仪器特点：

• 适用于高速成像应用的专用准分子激光剥蚀系统

• 300&500Hz 激光器，提供了可靠性和性能，2年保修和20亿次激发次数的质量保证

• 气柜包括ArF预混气瓶和氦气瓶，并且和设备集成一体，具有全封闭和主动泄压排气等特点

• 专利的ExiCheck气体交换模块可在预先设定的时间间隔内自动更换ArF气体，无需用户手动操作

• Cobalt剥蚀池< 5ms的气溶胶洗出时间光学衰减器保证低能量下的稳定性

• 多次使用的反射镜设计，5倍的镜片寿命Geo版双偏振镜：BIO版双衰减器

• 一类激光剥蚀系统，确保安全防护