西班牙AWSensors公司AWS A20-Research Platform®测试系统基于声波传感原理，可通过石英传感器频率变化和导纳-频率特征谱来检测芯片表面质量和结构变化，适用于刚性和粘弹性薄膜。具有倍频操作模式，可给出薄膜的粘度，弹性模量，粘性模量，厚度等信息。倍频曲线也可以用来表征薄膜的均匀性，用来评价沉积方法。测试频率高达160MHz，灵敏度可达0.05ng/cm²。

主要特点

基于专利的QCMD技术，适用于刚性和粘弹性薄膜

操作简单,软件自动寻找基频

同时监控石英传感器频率变化和导纳的频率特征

可对样品控温

测试系统配置灵活，1-4个通道

具有倍频操作模式，可以给出薄膜的粘度，弹性模量，粘性模量，厚度等信息。AWS A20 RP可称之为多参数石英晶体微天平。

测试频率高达5-160MHz，灵敏度可达0.5ng/cm²