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Pioneer 180 MAPLE PLD SystemNeocera脉冲激光沉积系统 Pioneer 180 MAPLE PLD
产品属性
品牌
Neocera
产地
美国
型号
Pioneer 180 MAPLE PLD System
关注度
0
信息完整度
关闭
产地:美国; 品牌:Neocera
PIPES指数:
1.0
用户:
0
新闻:
0
应用:
0
产品描述
产品简介
基质辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)是PLD的一种变体。
这是由NRL集团新引入的技术,以促进某些功能有机材料的薄膜沉积。
基于UV(5-6eV)的传统PLD技术中,光化学反应可能会恶化有机分子、聚合物等的功能。
而在MAPLE中,通过将待沉积的有机物(或聚合物)与吸收激光波长的溶剂(基质)混合来制备特殊的靶。
除了光学吸收外,在沉积条件下的高蒸气压是基质的先决条件。
然后用液氮冷却液体目标物,使其冻结为固体。
激光辐射主要被目标的高挥发性、冷冻的溶剂(基质)分子吸收,这些分子随后从固体目标中脱离,捕获和带走感兴趣的有机分子。
在它们向基片传输的过程中,高挥发性的基质分子被抽走,将有机分子输送到基片上沉积薄膜。
它成功弥补了传统 PLD的缺陷。
产品特点
独立的MAPLEPLD系统。
有机和聚合物薄膜的沉积。
在同一室的附加沉积源(可选):脉冲电子沉积(PED)、射频/直流溅射和直流离子源。
负载锁定基底阶段。
与XPS分析系统集成,晶片就地从PLD系统转移到分析系统
应用领域
脉冲激光沉积(PulsedLaserDeposition)是一种用途广泛的薄膜沉积技术。
脉冲激光快速蒸发靶材,生成与靶材组成相同的薄膜。
PLD的独特之处是能量源(脉冲激光)位于真空室的外面。
这样,在材料合成时,工作压力的动态范围很宽,达到10-10Torr~100Torr。
通过控制镀膜压力和温度,可以合成一系列具有独特功能的纳米结构和纳米颗粒。
另外,PLD是一种“数字”技术,在纳米尺度上进行工艺控制(?/pulse)。
Neocera在PLD设备与工艺开发方面具有不可超越的经验
Pioneer系列PLD系统是全球研发领域最为广泛使用的商业化系统
Neocera不仅为客户提供最基本的PLD系统,也提供完整的PLD实验室交钥匙方案
技术参数
1.PLD真空室尺寸:12"/18”直径(Pioneer120-Advanced/Pioneer180Models).
2.衬底尺寸:最大直径2“和/或多种1厘米x1厘米的样品。
3.衬底加热:最高500℃,拥有可编程的加热器。
4.基底旋转:20RPM。软件控制。
5.目标阶段:液氮冷却;单目标阶段为标准;多个目标(可选)
6.真空装夹:衬底负载制动
7.工业废气:按要求处理气体。50-100SCCMmfc电池
8.软件:Windows7/Labview2013。
北京正通远恒科技有限公司
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