氦质谱检漏仪是一种安捷伦生产的进口设备，用于检测氦气泄漏。该设备可以是便携式、台式、移动式、模块式、手持式或吸枪式，订货号包括G8600A、G8600B、G8602A、G8602B、G8601A、G8601B和G8603A。型号可以是VSPR02、VSPD03、VSBR15、VSBD30、VSMR15、VSMD30959或VSC15PHD-4。前级泵可以是DS42油封旋片泵、干式泵组合DS302、油封旋片泵TriScroll620、旋涡式干泵DS302油封旋片泵或TriScroll620涡旋式干泵。根据需要可以选配名称抽速为2(34)m3/hr(l/min)、3(50)m3/hr(l/min)、14(232)m3/hr(l/min)、30(500)m3/hr(l/min)、14(232)m3/hr(l/min)、或30(500)m3/hr(l/min)的分子泵。最小可检测的泄漏压力为5x10-12 atmcc/sec、5x10-12 mbarl/s或5x10-13 Pam3/sec，最大测试口压力为13mbar:10Torr:1330Pa、1Torr或5Torr,7mbar,667Pa。校准可以是自动的或手动的（内部或外部），氦本底清零可以是一键式自动清零（自动本底追踪）或手动的，通讯接口可以是RS232和模拟接口（标配）、I/O接口（选配）、AnalogRS232，模拟接口，I/O接口和Profinet，Analog和RS-232串口（标配）。设定点有5个（N/O或N/C）（3个漏率，1个压力，1个音频），与VS系列相同，远程显示/控制是可选的，标准标准为CE和UL/CSA，已获批准的有CE、CSA/US。