真空计控制器和规管
• 安捷伦提供全系列真空规管，包括Convectorr系列、PVG系列、CDG系列、IMG系列、FRG系列和UHV系列等，覆盖了从粗真空、高真空到超高真空的测量需求；
• XGS600真空计控制器可以多路同时工作，最多可控制12路，能同时显示最多8路测量值，并提供了完善的可编程RS-232/485串口通讯，极大地方便了整个真空系统的控制和数据读取；
• RGC-100/RGC-150真空计控制器可以简便地实现两路低真空测量；
• AGC-100/AGD-100真空计控制器是单通道控制器，可以自动识别真空计种类，无需额外的控制板。

科研和工业应用中的真空测量
安捷伦的真空规管和真空计控制器可以在广泛的领域内完成对真空系统的测量和控制。安捷伦的真空测量技术，为复杂的工业应用环境而生。简约的设计、简便的操作，将保证您真空系统或真空工艺的高效和省时。逾50年的科研领域经验中，我们的仪器超级准确、稳定，符合科研院所的要求。同时，通过STARRSCalibration和支持系统，安捷伦为您提供很好的测量结果。

目前，主要分为以下三类：XGS-600、RGC-100/RGC-150、AGC-100/AGD-100
XGS-600真空计控制器
• 简便的键盘操作
• 直观的显示面板
• 可同时切换使用最多可显示8路
• 用户自定义标志
• 友好用户界面
• 智能化的设计和功能
• 多路同时工作-最多12路
• <20毫秒设定点反应时间
• 八路测量值同时显示
• 强大的标配功能
• 功能性、灵活性和扩展性
• 仅需三种驱动板即可驱动所有真空计
• 无需重复购买多台真空计控制器 - 经济、高效
• 强大的多路同时工作能力

RGC-100/RGC-150低真空计控制器
• 适用于1X10-3 Torr到760Torr的测量
• 简便的两路设定点
• 大LED高亮显示屏

AGC-100/AGD-100主动式真空计控制器
• 可对FRG-，PVG-，PCG-以及CDG-系列真空计进行操作。为用户提供可选组件，可调设定点。
• 易安装
• 自动识别真空计种类
• 设定点控制真空范围

真空测量规管包括ConvecTorr规管、玻璃真空规、热灯丝高真空规、冷阴极高真空规、超高真空规以及控制板。冷阴极高真空规控制板XGS-600，analog控制板CT-100，坚固耐用，可靠性高。具备通用测量与控制功能的低真空领域产品PVG-500，紧凑耐用，采用不锈钢传感器。用于监测控制前级真空度，保障高真空电离规真空系统的安全性，同时也适用于中、低真空领域的通用测量与控制Loadlock控制CDG-500，全量程操作，一键归零和设定点功能可靠。适用于通用薄膜和真空工艺设备，工业真空工艺设备数据存储和显示器，生产设备刻蚀、CVD、PVD和其它半导体加工工艺测试设备，以及参考传感器追踪测量设备的转换控制主动式真空计控制器AGC-100/AGD-100。该产品无需控制板，成本低廉，可自动识别真空计PCG-750CDG和皮拉尼复合式。FRG-700用于高真空监测排气和溅射系统的本底真空度测量，也适用于中、高真空领域的通用测量与控制，采用热阴极/皮拉尼复合式设计。FRG-720/730为热阴极/皮拉尼式复合式全量程产品，适用于工业镀膜系统、半导体工艺设备、科研和实验室领域，以及高、超高真空领域的通用测量与控制。