真空计控制器和规管

•安捷伦提供从从粗真空、高真空直至超高真空的全系列真空规管，如Convectorr系列、PVG系列、CDG系列、IMG系列、FRG系列和UHV系列等；

•XGS600真空计控制器可多路同时工作，最多可控制12路，可同时切换使用，最多8路测量值可以同时显示，同时提供完善的可编程RS-232/485串口通讯，极大的方便了整个真空系统的控制和数值读取；

•RGC-100/RGC-150真空计控制器可以简便的实现两路低真空测量；

•AGC-100/AGD-100真空计控制器是单通道控制器，可以自动识别真空计种类，不需要控制板。

科研及工业应用中的真空测量安捷伦真空规管和真空计控制器可在广泛领域内完成对真空系统的测量和控制。

•安捷伦真空测量技术，为复杂的工业应用环境而生。简约的设计、简便的操作，将保证您真空系统或真空工艺的省时、高效

•逾50年的科研领域经验中，我们的仪器超级准确、稳定的特性，符合科研院所的要求。同时，通过STARRSCalibration和支持系统，安捷伦为您提供很好的测量

•目前，主要分成以下三类：XGS-600、RGC-100/RGC-150、AGC-100/AGD-100

XGS-600真空计控制器

①简便的键盘操作

②直观的显示面板•可同时切换使用最多可显示8路

•用户自定义标志

③友好用户界面

④智能化的设计和功能•多路同时工作-最多12路

•<20毫秒设定点反应时间•八路测量值同时显示

•强大的标配功能－8路规管设定值－完善的可编程RS-232/485串口通讯－E-beam热灯丝规管除气

－多种单位选择：Torr、Mbar、Pascal－全球电压标准接入

－模拟量输出

⑤功能性、灵活性和扩展性仅需三种驱动板即可驱动所有真空计•需要时，仅需插入电路板即可-简便、快速

•无需重复购买多台真空计控制器-经济、高效

⑥强大的多路同时工作能力

•可同时驱动4路热阴极规管+4路ConvecTorr规管

•可同时驱动5路反式冷阴极规管

•可同时驱动12路ConvecTorr规管

RGC-100/RGC-150低真空计控制器

1X10-3Torr到760Torr的可靠经济解决方案。热耦规和线缆预校准。

•可以立即安装操作•简便的两路设定点

•大LED高亮显示屏

AGC-100/AGD-100主动式真空计控制器

单通道控制器可以对FRG-，PVG-，PCG-以及CDG-系列真空计进行操作。为用户提供可选组件，可调设定点。

•易安装•自动识别真空计种类•设定点控制真空范围真空计（需配控制器使用）控制板真空计控制器低真空大气压-10-3536

具有与ConvecTorr相同的质量、精度和读数可重复性热传导规控制板XGS-600真空计控制器

ConvecTorr集成快递反应能力和优异灵敏度、线性能力于一体，可覆盖完整低真空范围。531经济的粗真空规高真空10-3-10-9572玻璃真空规，常用的通用热灯丝高真空规（内含两根灯丝）热灯丝高真空规控制板571无镀铂与563相同，无Pt涂层563通用性l良好的热灯丝高真空规，在测量范围内具有优异的性能和可靠性MBA-100单根灯丝MBA-200双灯丝无玻壳（防裂）热灯丝高真空规IMG-100耐用的冷阴极高真空规，响应快速冷阴极高真空规控制板超高真空10-9-10-12UHV-24常用的热灯丝超高真空规UHV-24p具有高测量范围的热灯丝超高真空规热灯丝高真空规控制板IMG-300经久耐用，超高真空规（冷阴极）；反应灵敏
冷阴极高真空规控制板XGS-600是analog控制板，CT-100非常坚固耐用，深受信赖。它广泛用于低真空领域的通用测量与控制，PVG-500非常紧凑耐用，配备不锈钢传感器。它可用于监测控制前级真空度和高真空电离规真空系统的安全性，同时也可应用于中、低真空领域的通用测量与控制Loadlock控制。

CDG-500是一款全量程的控制器，具有一键归零和设定点的功能，适用于通用薄膜和真空工艺设备、工业真空工艺设备以及数据存储和显示器的生产设备。此外，它还可用于刻蚀、CVD、PVD和其他半导体加工工艺测试设备，以及参考传感器追踪测量设备的转换控制。

AGC-100/AGD-100是一款主动式真空计控制器，无需控制板，成本低，可自动识别真空计。而PCG-750CDG和皮拉尼复合式可用于前级真空度的监测控制，以及高真空电离规真空系统的安全性监测，同时也适用于中、低真空领域的通用测量与控制Loadlock控制。

FRG-700是一款热阴极/皮拉尼复合式全量程真空计，适用于从大气压到高真空的测量，特别适用于高真空监测排气和溅射系统的本底真空度测量，以及中、高真空领域的通用测量与控制。

最后，FRG-720/730是热阴极/皮拉尼式复合式全量程真空计，可适用于工业镀膜系统、半导体工艺设备、科研和实验室领域，以及高、超高真空领域的通用测量与控制。