Economy

反复性、准确性、重现性极佳

消振桌

手动安装镜头

优秀的Capacity Sensor

自动过滤

缝纫功能

产品概要

    三维表面轮廓仪利用光的干扰，可迅速，准确，并高检测性的对1nm~10mm高度的模型的表面想象进行纳米单位测量。相比接触性方式，不会对测量物造成任何损伤，相比共焦方式，高解像力无关倍率均可得到统一结果，与AFM相比，可在宽测量领域内快速测量。

高度解像力0.1nm

任何倍率下，解像力均统一

测量纳米等级

测量高速，高精密度，高解像力表现形象

可测量透明/半透明/不透明登各种样品

无需非破坏，预加工程序即可轻松测量

反复性，准确性，重现性极佳

主要特征

测量高度，长度，段差，线，圆，弧，角度，款，宽，距离

面粗糙度，线粗糙度，波形

测量划痕，磨损，缺陷

测量面积，大小

测试原理

利用光的干涉信号，将表面的形状到1nm~10cm为止，没有材料的破损，从相机中显示的全部领域，正确，检测到高强度为单位。

干涉信号是在任意义的基准点中，同时出现的光在移动到不同的场景（optical path），在移动后合上的时候，用两个场景（optical path）的物理现象，是一种明亮的明亮的形态，这是干涉信号。

精密的Piezo扫描

高度以Piezo扫描通过Capacity Sensor进行Closed Loop

整体扫描范围的0.1%呈线性

通过1次校准，2次校准，提高数据可靠性

Scan范围

Scan范围：100um，150um, 300um, 500um, 10mm

变焦镜头

变焦镜头: 0.33x，0.55x， 0.75x， 1.0x，1.5x， 2.0x

物镜

 2.5x，5x, 10x， 20x， 50x， 100x

干涉镜头

干涉镜头(Michelson型) : 0.3x, 2.5x，5x

干涉镜头(Mirau型): 10x， 20x， 50x， 100x

Multi滤光镜

多种滤光镜选择

调整干涉镜头

随温度变化的干涉纹样调整

操作台

真空操作台，选择操作台，Aligner操作台