【技术参数】
样品间玻璃腔体尺寸120mm×120mmH，
高强度不锈钢结构样品台尺寸可放置12个标准钉形样品台，
可在30mm内调节蒸镀源高纯度碳棒，直径6.15mm，
蒸镀控制系统微处理器控制，
远程电流/电压感应，最大电流180A，
程序化数字控制，提供真空安全联锁装置，
过流保护，模拟计量真空Atm-0.001mb，
电流:0–200A控制方式自动蒸镀控制，
可选择手动操作，也可通过控制数字定时器(1–30秒)及电压设定(0.1to5.5V)实现自动蒸镀控制，
自动放气功能，机械泵2L/s，
25-30s内真空度下降到0.1mb，
工作电压220V，50/60HZ，
膜厚监控仪（选配）通过6MHz石英晶体进行原位监控，
显示纳米级厚度，
碳厚度可精确到0.1nm，
适用配套Zeiss,JEOL,Hitachi,FEI,Tescan,Phenom等扫描电镜【产品详情】
Agar全自动喷碳仪为英国进口设备，
操作简单，
适用于扫描电镜样品制备等。喷碳仪使用高纯度碳棒，
更容易实现在高倍下得到高质量的镀膜效果，
以便对样品进行形貌观察及进行能谱EDS或EBSD分析。 喷碳仪使用的是碳棒，
真空度相对来说要高一些；
用碳棒的喷碳颗粒要细一些，同时对样品的加热温度也要高一些。样品台：碳棒：膜厚监测仪：