【技术参数】
样品室玻璃腔体尺寸为120mm×120mmH，有高强度不锈钢结构（也可选150mm×165mm）。样品台尺寸可以容纳12个标准钉形样品台，高度可以在60mm内调节。溅射头为低电压平面磁控管，可以快速更换靶材，环绕暗区有护罩。溅射靶材包括金（标配）、铂、金/钯、铂/钯、银等，直径为57mm×0.1mm厚度。溅射控制系统采用微处理器控制，可以远程电流/电压感应，最大电流为40mA，并且具有程序化数字控制。此外，还配备真空安全联锁装置和过流保护。真空能够模拟计量在Atm-0.001mb范围内，电流控制范围为0-50mA。控制方式有自动气体换气和放气功能，还带有带有“暂停”控制的数字定时器（0-300s）。机械泵的工作媒介为氩气，纯度最低为99.9%。工作电压为220V，50/60HZ。另外，还可选配膜厚监控仪，通过6MHz石英晶体进行原位监控，显示纳米级厚度，可以精确到0.1nm。适用于配套Zeiss、JEOL、Hitachi、FEI、Tescan、Phenom等扫描电镜。

【产品详情】
Agar全自动喷金仪（离子溅射仪）是一台进口设备，操作简单，适用于扫描电镜样品制备，可以喷金、铂、金/钯、铂/钯、银等。如果需要使用喷金仪，有以下小贴士：1）需要喷金的样品a)第一类样品是电子束敏感的样品，即生物样品和塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量，与样品的相互作用会导致热的传递，部分甚至整个样品结构会被破坏。使用非电子束敏感材料制备的表面镀层可以起到保护层的作用，防止这种损伤；b)另一类样品是非导电的样品，由于不导电，表面会带有“电子陷阱”，又称为“充电”。为了消除荷电效应，可以在表面镀一层金属导电层，作为导电通道，来消除表面充电电子。在扫描电镜成像时，溅射材料可以提高信噪比，获得更好的成像质量。2)常用的溅射材料是金，具有很高的导电性。喷金仪的真空度越高，溅射的金属颗粒越小，可以减少样品表面形貌的失真情况。当需要超高分辨率成像时，首选高真空喷金仪，同时还可以选用其他溅射材料，如铬、铱等，产生更细小的溅射晶粒。