【技术参数】
样品室玻璃腔体尺寸为120mm×120mmH，采用高强度不锈钢结构（也可选150mm×165mm）。样品台尺寸可容纳12个标准钉形样品台，高度可在60mm内调节。溅射头为低电压平面磁控管，靶材更换快速。可使用直径为57mm×0.1mm厚度的溅射靶材，如环绕暗区护罩溅射的金、铂、金/钯、铂/钯、银等靶材。溅射控制系统采用微处理器控制，可以远程感应电流/电压，最大电流为40mA。具有真空安全联锁装置和过流保护功能。真空度范围为Atm-0.001mb，电流范围为0–50mA。控制方式具有自动气体换气和放气功能，并带有数字定时器，范围为0－300s。工作媒介为氩气，纯度最低为99.9%，工作电压为220V,50/60HZ。可选配膜厚监控仪，通过6MHz石英晶体进行原位监控，显示纳米级厚度，精确到0.1nm。适用于配套Zeiss,JEOL,Hitachi,FEI,Tescan,Phenom等扫描电镜。

【产品详情】
Agar全自动喷金仪（离子溅射仪）是英国进口设备，操作简便，适用于扫描电镜样品制备，可喷金、铂、金/钯、铂/钯、银等。使用小贴士：1）对于需要溅射喷金的样品，一类是对电子束敏感的样品，另一类是非导电的样品。在扫描电镜成像时，溅射材料可以增加信噪比，从而获得更好的成像质量；2）常用的溅射材料为金，可用于消除荷电效应。当需要超高分辨率成像时，首选高真空喷金仪，也可选用其他溅射材料如铬、铱等，溅射的晶粒更细小。