PlasmaPro100 Estrelas牛津仪器半导体检测仪-价格-分析测试百科网仪器谱

产品描述

PlasmaPro100Estrelas平台旨在满足微电子机械系统（MEMS）、先进封装以及纳米技术市场的各种工艺要求。该平台提供了工艺灵活性，包括光滑侧壁工艺、高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀等，无需更换腔室硬件。硬件设计使其能实现Bosch™和超低温刻蚀工艺，兼容50mm至200mm的衬底。这意味着您只需一台系统，便具备从研发器件到量产的能力。此外，该平台还拥有更高流量的质量流量计、等离子发生器、自由基密度更高、腔体尺寸和泵效率更大，以及快速控制（初始为ALD而开发）。

价格：面议

PlasmaPro100 Estrelas牛津仪器半导体检测仪

牛津仪器科技（上海）有限公司

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产品属性

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