主要特点：

- 施加较小的载荷时有极快的响应时间

- 纳米划痕测试仪带有载荷传感器和双悬臂梁用于施加载荷，以及压电式驱动器用于快速响应施加的载荷。

- 设计修正了在划痕过程中发生的任何事件，如裂纹、故障、缺陷或样品不平整，避免了测量结果偏差。

- 专利的真实划痕位移测量可以在划痕前、划痕过程中和划痕后记录表面的轮廓，评估材料的弹性、塑性和粘弹性能。

- 闭环主动力反馈系统可进行更精确的纳米划痕测试，最小载荷为1μN以下。

- 具有高质量光学成像能力的显微镜，可在低放大倍数和高放大倍数自由切换，实现更好地对样品进行评估。

- 可用多次后扫描模式评估弹性性能并进一步了解表面变形性能与时间的依赖关系。

技术指标：

- 施加的载荷分辨率：0.01μN，最大载荷：1000mN，摩擦力分辨率：0.3μN，最大摩擦力：1000mN，位移分辨率：0.3nm，最大位移：600μm。

- 速度范围：从0.4mm/min到600mm/min。

- 在理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。