技术参数：
大范围高精度扫描探针显微镜  安捷伦5500LS
规格:
-标准真空夹持台尺寸: 150毫米
-样品厚度: 最大35毫米
-检测区域: 150mm x 150mm
-全电动、光学可控
-光学分辨率: 2μm
兼容性:
-兼容Agilent 5系列家族产品和所有AC模式
-兼容多用途扫描仪
-兼容CSAFM、STM和EFM/MFM
-适用于空气和流体中的成像，包括但不限于生命科学、电化学和腐蚀应用
-适用于温度控制（-30°C至250°C）
扫描仪
大型扫描仪:
-扫描范围: 100μm x 100μm
-Z轴范围: 7μm
-垂直噪音: 0.5ÅRMS
小型扫描仪:
-扫描范围: 10μm x 10μm
-Z轴范围: 2μm
-垂直噪音: < 0.1ÅRMS
主要特点：
安捷伦5500LS原子力显微镜采用高精度马达驱动，可快速、准确地实现针尖和样品的定位。其记忆功能能够自动返回原始成像位置，便于更深入的研究。同时，5500LS可适应大样品在空气、液体和温度控制下成像的需求。
优势
-自动光学缩放与聚焦，操作简单方便
-大范围准确定位，分辨率优于2µm
-配备150mm真空吸盘（标准），可容纳6英寸晶片
-可提供8英寸大夹具的选件，以适应更大的样品尺寸
应用
-半导体：硅晶片、器件
-数据存储材料：CD、DVD、硬盘等。