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原子层沉积(ALD)ForgeNano 多功能台式原子层沉积系统
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原子层沉积(ALD)ForgeNano 多功能台式原子层沉积系统
PIPES指数:7.6用户:应用:

型号型号:PANDORA

品牌品牌:ForgeNano

产地产地:美国

复纳科学仪器(上海)有限公司

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核心参数
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产品描述
PANDORA 多功能台式原子层沉积系统,让很多人相信,潘多拉的魔盒里埋藏着尚未开发的宝物——希望!
这台工具结合了粉末原子层沉积技术和平面原子层沉积薄膜技术,是独一无二的高效研发工具。使用者可以轻松地在粉末和平面样品之间切换,而不用担心影响研究效率。
产品规格
1. 前驱体通道:3-6
2. 连续流/静态流兼容
3. 反应腔:100ml粉末腔/10×10cm平面
4. 反应腔结构:旋转式
5. 反应腔温度:最高200℃
6. 配件:In-situQCM,等离子发生器,臭氧发生器,在线式气体分析系统,冲压辅助装置
7. 支持样品:粉末,纤维,平面样,器件,药物
产品特点
PANDORA 是高度集成的台式原子层沉积系统,可以摆放在实验室的任意角落,采用旋转式反应腔实现对粉末材料的分散,有更高的兼容性。对于平面样品,则可快速插入平面反应台,实现样品的切换。PANDORA 高度集成的特点提高了使用效率,使用者甚至在安装的第一天便可以开始 ALD 实验。
实时监测
PANDORA 也配备了在线分析系统,可以对前驱体与副产物进行实时监测,从而进行沉积工艺改良。In-situQCM ALD 是微量沉积方式,故常规手段无法测量薄膜的质量,因此 PANDORA 采用石英微天平可以实时监测材料的质量变化,帮助研究者获得更高质量的薄膜。反应观察窗
研究者可以通过窗口实时观察粉末在腔室中的运转情况,符合 cGMP 要求。
PANDORA 可以应用于药物的表面改性及包覆,从而提升药物的物理及化学性能。
应用于学术研究,液相法是进行粉末表面包覆改性的重要方法,但对于大多数研究者而言,寻找合适的工艺以及普适性较高的方案是费时耗力的工作,且液相法会造成大量的原料浪费,同时并不能实现完全均匀的包覆。包覆层会出现较多的缺陷或颗粒团聚,影响材料最终的性能。而对于敏感性较高的材料,如锂电电极粉末,液相法可能对材料性能产生不可逆的影响。
ALD 是自限制性的薄膜沉积技术,可以在粉末材料表面形成均匀的包覆,即便是孔隙率高的多孔结构,ALD 也有较好的均一性。
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