产品特点：
◆ 新配置的专用“慢充”控制，保护易脆样品；
◆ 外部配置了PURGE后的过滤装置，方便更换和维护；
◆ 独家专利的“VortexSwirl”非机械搅拌，保持样品完整；
◆ 高效内部封闭冷却循环系统，快速降低温度；
◆ 内置SOTER冷凝器，消除排气噪音；
◆ 样品室填块可以改变直径，减少消耗量和处理时间；
◆ 内部过滤系统，过滤颗粒最低尺寸达到0.08μm；
◆ 可处理不同尺寸晶圆；
◆ 多种配件标配；
◆ 垂直样品室，内腔照明；
◆ 明亮的LCD触屏控制；
◆ 内置出厂自动运行程序；
◆ 所有内部表面适用于不同化学物质；
◆ 参数可重复设置；
◆ 集成自动控温和压力控制模块；
◆ 洁净室和防静电设计；
◆ 符合多项标准；
产品规格：
◆ 外部尺寸：宽19.8”×深31.7”×高44.5”；
◆ 安装占地尺寸：宽27”×深38”；
◆ 样品室尺寸：内径6.5”×深1.25”，容积679ml；
◆ LCO2流速可调；
◆ 电压可选；
标准配件：
◆ 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon）；
◆ 双T型过滤装置；
◆ 安装工具；
◆ 防静电排气管；
◆ 样品室O型圈和LED照明灯；
◆ 保险丝和样品室填块；
◆ 各种样品架；
◆ 用户手册；