Automegasamdri-934系列C产品具有以下特点：
◆ 专用“慢充”控制系统，为样品腔体提供理想的二氧化碳流体动力学，保护易脆样品；
◆ 外部配备PURGE后的过滤装置，保护样品，易更换和后期维护；
◆ 采用独家专利的“VortexSwirl”非机械搅拌，PURGE完全不损害样品；
◆ 高效内部封闭冷却循环系统，可快速降低腔体温度，缩短操作时间；
◆ 内置SOTER冷凝器，分离废弃乙醇和废气，消除排气噪音；
◆ 独特的样品室填块，降低液态二氧化碳消耗量和处理时间，兼容不同尺寸晶圆；
◆ 内部过滤系统，最低过滤颗粒尺寸达到0.08μm；
◆ 一次可处理5片4英寸晶圆或分别处理3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶；
◆ 标配4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架及10mm方晶样品架各1个；
◆ 垂直样品室，内置照明和观察窗；
◆ 明亮的LCD触屏控制；
◆ 内置自动运行程序，可创建和保存个性化程序；
◆ 内部表面适用于CO2、丙酮和超纯乙醇；
◆ 集成自动控温和静态压力控制模块，确保安全运行；
◆ 洁净室和防静电设计；
◆ 所有电气部件符合UL、CE和美军标准；

产品规格：
◆ 外部尺寸：宽19.8”(50.3cm)×深31.7”(80.6cm)×高44.5”(113.0cm)；
◆ 安装占地尺寸：宽27”(68.6cm)×深38”(96.5cm)；
◆ 样品室尺寸：内径4.5”×深1.25”，容积：326ml；
◆ LCO2流速通过微型计量阀门控制；
◆ 120V/50-60HZ(可选其他电压)；

标配配件：
◆ 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon）3米长；
◆ 双T型过滤装置，预先连接方便安装；
◆ 安装工具；
◆ 防静电排气管；
◆ 样品室O型圈3个，LED照明灯1个，保险丝2个；
◆ 3个Teflon样品室填块；
◆ 直径为4、3、2英寸晶圆样品架和边长为10mm方晶样品架；
◆ 用户手册；