技术参数：

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日本YAMATO等离子清洗机、等离子灰化机、等离子蚀刻机

PDC200/210型等离子清洗机

【简介】

此产品专为表面处理而设计，采用等离子技术。

桌面式，性能卓越，操作简便，快速，可显示数据。广泛用于以电子材料为主的各行业。

【用途】

● 用于CSP/BGA/COB基板的等离子处理

● 消除有机膜、金属酸化膜

● 用于印刷电路板的干式清洗

● 界面活性处理

【特点】

● RIE/DP模式

● 电极构造可使等离子分布均匀

● 操作方便的触摸屏

【规格】型号：PDC200/210

等离子发生模式：附带RIE/DP切换器

电极构造：平行平板（固定电极）

高频输出：最高300W/500W

振荡频率：13.56MHz石英晶体振荡

控制/显示：液晶触摸屏

内槽尺寸：宽400×深250×高150mm

载物台尺寸（有效）：宽250×深170mm

内槽材料：铝合金

反应气体：2系统（氩气、氧气）

清洗气体：氮气或干性气体

反应气体流量控制：流量计/流量控制器

真空泵：旋转式真空泵（约345L/分）

气体输入口：反应气体2个、清洗气体1个

外形尺寸：宽540×深600×高600mm

电源：AC单相100V(50/60Hz)15A/AC三相200V(50/60Hz)15A

德国等离子清洗机

该离子清洗机可用于清洁、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洁效率和清洁效果需要。

小型等离子清洗刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于大学、科研机构高科技生产单位等场合：

· 半导体开发

· 集成电路开发

· 真空电子行业

· TEM、SEM样品及支架清洁

· 生命科学实验

与动辄十几万美元的大型产品相比GALA等离子清洁、刻蚀机具有以下优点

1、可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。

2、不会对科研人员的身体造成任何伤害。

3、其成本对于等离子处理方法来说微乎其微。

此等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

其具体应用包括：

1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化

玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是没有极性的，因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。

2、金属去油及清洁

金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。

焊接操作前：通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

键合操作前：好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。3、等离子刻蚀

特点：

· 操作简便、成本低廉

· 处理舱尺寸分别为9.5cmx27cm和15cmx31.5cm，可分层放置样品

· 不锈钢处理舱（其他厂家通常采用铝制）

· 高效真空电极

· 气体流量经由流量计和针阀实现精确控制

· 手动过程控制

· 功率可在200W以内调节控制（200W以上功率用于刻蚀）

· 自动阻抗匹配

· 参数可自由设置：处理时间、功率、气体、压力

· 安全保护功能：真空触发、舱门锁

FEMTO型等离子清洗机

* 反应舱尺寸为10cmx27cm，水平放置（2升）

* 不锈钢反应舱

* 40KHz射频发生器

* 高效针孔电极

* 铜气体管、气体流量计、针阀

* 使用气体流量计和针阀控制气体

* 自动计时器控制等离子处理过程

* 半自动控制

* 功率范围为0-100W

* 自动阻抗匹配

* 参数可自由设置：处理时间、功率、气体、压力

* 安全保护功能：真空触发、舱门锁

* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱

* 规格：35cm（宽）×25cm（高）×60cm（深），重量20kg（不含真空泵）

* 电源230V/50Hz；110V/60Hz

选装件

DUO52级真空泵5m3/h，3x10-2mbar（普通油）

稳流调节阀用于氧气和普通真空油操作时

油雾过滤器EMF10

化学回旋器用于缓和泵送的气体

化学回旋器内含活性炭

PICO型等离子清洗机

* 反应舱尺寸为15cmx32cm，水平放置（5升）

* 不锈钢反应舱

* 40KHz射频发生器

* 高效针孔电极

* 数字计时器可自动设定操作程序

* 皮拉尼真空泵可设定重复操作

* 铜气体管、气体流量计、针阀

* 使用气体流量计和针阀控制气体

* 自动计时器控制等离子处理过程

* 半自动控制

* 功率可调节至200W

* 自动阻抗匹配

* 参数可自由设置：处理时间、功率、气体、压力

* 安全保护功能：真空触发、舱门锁

* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱

* 规格：60cm（宽）×30cm（高）×60cm（深），重量35kg（不含真空泵）

* 电源230V/50Hz；110V/60Hz

选装件

DUO52级真空泵5m3/h，3x10-2mbar双气体配置：管路、流量计、针阀

13.56MHz射频发生器2.45GHz射频发生器

油雾过滤器EMF10化学回旋器缓和泵送气体

化学回旋器内含活性炭