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YAMATO光刻胶固化炉其它 DTPN-612GCT01
400000参考价
YAMATO光刻胶固化炉其它 DTPN-612GCT01
PIPES指数:7.9用户:应用:

型号型号: DTPN-612GCT01

品牌品牌:雅马拓

产地产地:日本

浚和(上海)仪器有限公司

核心参数
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产品描述
性能参数:
依照JTM规格,这台设备的使用温度范围为室温加50度到500度。温度调节精度为±0.5度(当温度为450度时,无负荷状态下)。温度分布精度为±5度(当温度为450度时,无负荷状态下)。
根据JTM标准规定的点,在有效尺寸的1/6处,含槽内中心点共测量9个点。
设备可以进行程序运行(包括升温、恒温、降温、定时)。
定时功能范围为1分钟到99小时59分钟,以及100到999小时。
升温速率不超过40分钟(在150到450度时,速率为每分钟不低于7.5度,全程平均)。
温度恒定时洁净度达到100级,氧浓度低于20ppm。真空度不超过100Pa,真空到达时间约为15分钟。
工作状态会在触摸屏上显示(包括抽真空中、N2置换中、氧浓度检测中、加热中、N2维持中、恒定中、冷却中、抽真空中、空气进入中以及结束)。
设备构造外装材质为冷扎彩钢板,表面喷塑;内装承压体材质为SUS316不锈钢板;断热材质为硅酸铝棉板。
加热器采用铠装不锈钢加热管,380V4.0KwX3=12Kw,加热板220V300wX14=4.2Kw。组合式送风机为离心风叶φ230X130-1个,风量L=1800m3/h。变频调速电机380V(1450转/min)。N2喷头、水冷器、过滤网等设备一应俱全。
设备的外形尺寸为W1150×D1215×H1697(设置时、以及突起物除外),内室尺寸为W600×D600×H600mm,容积为216L。
其他功能包括棚受段数17段/30mm、N2外接进气接头、冷却水接头、测试孔等。
整台设备配备了温度调节器、温度传感器、压力控制仪、滤网、氧浓度分析仪、真空泵等设备。具备诸多安全保护装置,如漏电保护开关、过热防止回路、门锁、异常显示等。
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