产品描述
稳健性工业设计（Robust Design）和经过实践证明的高可靠性轴承系统。
紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求。
高气流量和高抽速。
可任意角度安装。
防护等级IP54符合工业环境应用要求。
可应用于腐蚀性气体工况。
SEMI S2 和 UL认证。
完整的配件系统扩展了潜在客户的需求。
更长时间维护保养时间。
可现场更换轴承。
| Bearing 轴承 | Hybrid |
| Compression ratio for Ar 氩气压缩比 | > 1 · 1011 |
| Compression ratio for H2 氢气压缩比 | 1.4 · 105 |
| Compression ratio for He 氦气压缩比 | 1.3 · 107 |
| Compression ratio for N2 氮其压缩比 | > 1 · 1011 |
| Cooling method, optional 冷却方式，选择性 | Air/water |
| Cooling method, standard 冷却方式，标准 | Convection |
| Cooling water consumption 冷却水耗量 | 75 l/h |
| Cooling water temperature 冷却水温度 | 5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K |
| Electronic drive unit 控制器 | with TC 110 |
| Flange (in) 法兰（进） | DN 63 ISO-K |
| Flange (out) 法兰（出） | DN 16 ISO-KF / G 1/4" |
| Fore-vacuum max. for N2 氮气最大前级真空 | 22 hPa | 16.5 Torr | 22 mbar |
| Gas throughput at full rotational speed for Ar 氩气全转速时的气流量 | 0.54 hPa l/s | 0.4 Torr l/s | 0.54 mbar l/s |
| Gas throughput at full rotational speed for H2 氢气全转速时的气流量 | 15.3 hPa l/s | 11.48 Torr l/s | 15.3 mbar l/s |
| Gas throughput at full rotational speed for He 氦气全转速时的气流量 | 2.7 hPa l/s | 2.02 Torr l/s | 2.7 mbar l/s |
| Gas throughput at full rotational speed for N2 氮气全转速时的气流量 | 1.3 hPa l/s | 0.98 Torr l/s | 1.3 mbar l/s |
| Interfaces 接口 | RS-485, Remote |
| Mounting orientation 安装方向 | in any orientation |
| Operating voltage 运行电压 | 24 (± 5 %) V DC |
| Permissible magnetic field max. 容许的最大磁场 | 3.3 mT |
| Protection category 防腐等级 | IP 54 |
| Pumping speed for Ar 氩气抽速 | 66 l/s |
| Pumping speed for H2 氢气抽速 | 48 l/s |
| Pumping speed for He 氦气抽速 | 58 l/s |
| Pumping speed for N2 氮气抽速 | 67 l/s |
| Rotation speed ± 2 % 旋转速度 ± 2 % | 90000 min-1 |
| Rotation speed variable 可变旋转速度 | 50-100 % |
| Run-up time 启动时间 | 1.7 min |
| Sound pressure level 声压级 | ≤ 48 dB (A) |
| Ultimate pressure according to PNEUROP 根据PNEUROP的极限压力 | < 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar |
| Venting connection 排气连接件 | G 1/8" |
| Weight 重量 | 2.4 kg | 5.29 lb |
Pfeiffer vacuum涡轮分子泵 Hipace80尺寸
Pfeiffer vacuum涡轮分子泵Hipace80抽速
