电子探针的介绍：

电子探针(EPMA)利用细小的电子束照射样品表面，产生特有的X射线。然后通过分光和强度测定来分析微小区域的元素组成和样品表面元素的浓度分布。

EPMA采用波长色散型X射线分光器（WDS），与能量色散型X射线分光器（EDS）相比，具有高分辨率。因此，与SEM配置EDS检测器相比，EPMA可以实现更高精度和更高灵敏度的分析。

技术特点：

岛津电子探针EPMA-1720系列具有传承自52.5°高X射线取出角技术的优势，能够实现高灵敏度的X射线测定。样品台具有高速稳定的驱动，可以精准设定分析位置和区域。同时，配备了各种自动功能和联动功能，电子束设定简单易操作。控制和分析软件集多年的经验于一体，从数据采集到解析和报告制作都十分清晰易懂，操作十分便捷。对于初学者，设有简易的模式，可从SEM观察到定性分析和图像生成。数据浏览程序可方便地管理数据批次。