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产品介绍
NanoFocusμsprinttopographer是一个独立的桌面3D测量系统。
机台上的X.Y轴和3D传感器可以提供稳定的高精度数据采集。
μsprint设备包含控制柜、电子设备和PC，还可以根据客户的需求进行定制，如自动放置sample的自动机械手。
μsprint软件提供多种扫描和数据分析的功能。
通过μsprint专利原理，结合共聚焦显微镜技术，真正实现了史无前例的测量速度和记录分析的准确性。
μsprint多通道3D传感器采集数据的预处理，同时可监测每个通道实时测量的峰值强度，因为它代表了表面反射率。
数据由多通道μsprint的传感器每秒运作8000次，类似于线扫描相机。高采样率使得可以在短时间内对大面积进行高速扫描。
所有采集的高度和强度数据被合并成一个3D地形图像和强度图像。
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应用
1. 电子设备：检测对表面磨损、表面粗糙度、表面微结构有要求的零部件
2. 半导体：检测微型电子系统、封装及辅助产品结构设计
3. 医疗：模具表面检测
4. 金属/力学：测试金属摩擦大面积表面
5. 钢铁：检测轧辊钢棍在处理前后的表面形貌
6. 玻璃/光学：大面积的透镜表面形貌
7. 纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量
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技术参数
1. 原理：多通道、非接触、共聚焦
2. 信道数：128
3. 采样率（每通道）：8000次/s
4. 外形尺寸(LxHxW)：260x194x99mm
5. 工作距离：0.5-30mm
6. 高度范围：100μm-2.5mm
7. 扫描宽度：435μm-2.5mm
8. 扫描深度：8-200mm/s
9. Z方向的分辨率：0.05-13μm
10. x,y方向分辨率：3.4-17μm
11. 光斑直径：1μm
12. 电源：110/230VAC，15W
13. 激光二极管的波长：830nm