日本理学Rigaku nano3DX是一款真正的X射线显微镜（XRM），能够以高分辨率测量相对较大样品的3D计算机断层扫描（CT）图像，这是通过使用高功率旋转阳极X射线源和高分辨率探测器来实现的。

nano3DX允许通过改变X射线波长来增强对比度或穿透力，拓展了可检测样品的类型，包括那些具有低吸收对比度的样品（例如CFRP）、或更密集的材料（如陶瓷复合材料），因此，nano3DX扩展了无损成像的范围，使研究中至关重要的灵活性和洞察力有了重大突破。

nano3DX特征

◆ 高功率旋转阳极X射线源

◆ 多种靶材可供选择(Cr，Cu和Mo)，可得到不同波长的特征X射线，以优化不同样品基质的成像

◆ 光学耦合高分辨率探测系统，多种物镜可供选择

◆ 快速数据采集，源自于高亮度的X射线源和高分辨率探测系统，速度比同类产品快3倍以上

◆ 低Z材料的高对比度，实现了优于0.13g/cm³的密度分辨率

◆ 支持原位实验

◆ 高分辨率：空间分辨率优于400nm（特殊定制可达100nm）

◆ 宽视野：采用相同分辨率和扫描时间，FOV比同类系统大5倍以上

nano3DX典型应用

日本理学nano3DX适用于逆向工程、产品研究、失效分析、高可靠筛选、质量评价、改进工艺等无损检测和评估工作。常用于各类材料(如合成材料、陶瓷复合材料等)、电子半导体元器件、地矿标本、仿生材料、生化物质等的计算机断层扫描成像，现已广泛应用于以下领域：

◆ 材料学：结构材料、复合材料的微观特性分析，探讨/解析样品内部结构

◆ 金属材料、合金/铸造：航空航天， 精密制造， 半导体零部件

◆ 复合材料

◆ 高分子材料/聚合物：纤维材料， 发泡材料， 橡胶， 树脂， 高分子聚合物

◆ 工程材料：建筑材料内部孔隙度、连通度和渗透性分析

◆ 储能设备：质量控制、新产品开发的结构试验、失效分析等

◆ 农牧业：动植物组织，木材和农产品（如种子）的质检和分析

◆ 古生物学和考古学：种系鉴定、化石的结构分析，文物保护和修复

◆ 地质：矿物勘察、地质分布、油气藏开发等

◆ 半导体：元器件的结构分析

应用案例：

CFRP材料曾被认为很难通过X射线成像分析。由于nano3DX具有0.13g/cm3的密度分辨率，可以清晰的区分CFRP中碳纤维、环氧树脂和材料孔隙的显微结构，以三维形式观察，并可测量空隙数量、体积和方向。

碳纤维增强聚合物(CFRP)。图像为1.8mm×1.8mm×1.4mm，体积由3300× 3300×2500体素表示。在相同的分辨率、时间范围内，单次扫描的测量体积比其他系统大25倍。