产地：美国； 品牌：英福康/INFICON
PIPES指数：1.0 用户：0 新闻：0 应用：0
特征概览:
非接触式超小设计，监测高功率射频电源的电流及电压传输
方便替换传统的光谱仪，准确探测刻蚀工艺的终点
监测腔体是否刻蚀干净及过度刻蚀，缩短刻蚀时间和降低气体成本，提高生产机台使用率
高速采样频率，可达2万赫兹
应用：
用于半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀腔体工艺等离子体放弧探测及刻蚀终点探测（Endpoint）。
产品描述
