超高分辨率非破坏性3D成像Nano XCT-100是世界唯一的对微米体积样
品进行3D观察的实验室超高分辨率CT扫描系统。精密的X射线聚焦光
学系统提供了50nm的成像分辨率，将X射线CT的能力大大延伸至纳米
尺度。当吸收衬度很低时，集成的Zernike相位衬度成像技术增强了
所有边缘和界面的可视性。Nano XCT-100提供了可靠的3D体积信息，
而其它截面成像技术和破坏性方法只能获得部分信息。
主要应用领域
生命科学和生物医学研究；
半导体封装技术开发和失效分析；
先进材料科学研究；
石油天然气勘探分析。
产品参数
分辨率：＜0.6微米分辨率，0.5微米的特征识别
X光源：小光斑，微焦点X射线，达到150千电子伏
视眼范围：0.65*0.65mm-60*60mm
二维图像曝光时间：根据样本的对比度，＜1秒到1分钟
三维图像数据收集时间：根据样品对比度，5分钟到几小时
三维图像重构分析：数据收集后，在数分钟内完成三维虚拟图像的重建