基于圆柱面的白光干涉仪
大型快速的3D白光干涉测量
使用高精度的压电马达
全电动系统
可用于直径从70mm的不同气缸
使用MountainsMap影像地形分析数据
 

可选：标准化工作的特殊评测

 SmartWLI-cylcheck参数                                                                                       

探测器

摄像头传感器:              CCD GigE 1388x1038 Pixel, 17 fps
光源:                      白光LED

系统组件
深层定位:                  电动可调节到200 mm
X-Y定位:                   圆柱直径为电动调节
                           可从70 mm调到155 mm

系统转动:                  可手动旋转
Z-测量系统:                WLI/压电式底座的测量范围为100um
测量转接器:                用于安装在气缸上的转接器
滚动箱 :                   记录所有系统组件，包括工业PC对仪器的控制                                        
评估:                      MountainsMap影像地形

镜头选项
放大倍数                      10x            20x           50x
在平方微米的测量领域         1290x965       645x480       258x190
NA                            0,3            0,4           0,55
z方向分辨率                 <5 nm           <5 nm          <5 nm
XY方向分辨率                1,9 µm          1,0 µm         0,7 µm

选项                                                           
Cylanalyse             圆柱表面的分析评价