主动式防震台+HERZ+AVI600

   为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器提供主动隔振系统！

    AVI-600 为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，AVI-600 work station可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

工作原理

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），AVI系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

产品特点

主动隔振频率 1Hz - 200Hz

• 被动隔振频率>200Hz

• 5-20ms的响应时间

• 安装简单，容易使用

• 稳定性高，能无故障连续使用多年

• 紧凑、模块化的多功能设计

产品应用

• SEM 、TEM

• UHV-SPM   光刻

• 隧道显微镜    

• Fabry-Perot干涉仪

• 大型对振动敏感的仪器设备




性能优势 

• 系统主动检测输入振动并动态消除

• 六个空间方向的自由隔振

• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振

• 低频隔振性能优秀

• 无低频共振、无空气要求

技术参数：