主要用于以下领域：

• 小批量生产

• 分析 (REM, TEM)

• 医疗技术

• 灭菌

• 研究和开发部门

• 考古

• 纺织技术

• 塑料技术

概况介绍 Atto

技术参数： Plasma Cleaner Atto 配有手动控制系统

外壳： 
宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm

腔室： 
玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm

腔室容积： 
约 10.5 升

气源： 
2 个由针型阀控制的气体通道

发生器： 
40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配

真空泵： 
抽吸性能： 2 m³/h

部件支架： 
1 个产品支架

控制系统： 
手动型、通过模拟计时器测定工艺时间

技术参数： Plasma Cleaner Atto 配有外部 PC 控制系统

外壳： 
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm

腔室： 
玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm

腔室容积： 
约 10.5 升

气源： 
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器： 
40 kHz / 200 W 或者 13.56 MHz / 50 W 固定搭配

真空泵： 
抽吸性能： 2 m³/h

部件支架： 
1 个产品支架

控制系统： 
PC-控制系统 (Microsoft Windows XP)

技术参数： Plasma Cleaner Atto 配有集成式 PC 控制系统

外壳： 
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm

腔室： 
玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm

腔室容积： 
约 10.5 升

气源： 
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器： 
40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配

真空泵： 
抽吸性能： 2 m³/h

部件支架： 
1 个产品支架

控制系统： 
PC-控制系统 (Microsoft Windows XP)

技术参数： Plasma Cleaner Atto 配有集成式 PCCE 控制系统

外壳： 
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm

腔室： 
玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm

腔室容积： 
约 10.5 升

气源： 
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器： 
40 kHz / 200 W 或者 13.56 MHz / 50 W 固定搭配

真空泵： 
抽吸性能： 2 m³/h

部件支架： 
1 个产品支架

控制系统： 
PC-控制系统 (Microsoft Windows CE)