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HORIBA JY在线椭偏仪 In-situ series
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HORIBA JY在线椭偏仪 In-situ series
PIPES指数:1.0用户:应用:

型号型号: In-situ series

品牌品牌:堀场

产地产地:法国

北京国嘉恒业科学仪器有限公司

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核心参数
产地: 欧洲
供应商性质: 区域代理
产地类别: 进口
价格范围:
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产品描述

仪器介绍:
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
 
技术参数:
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
 
主要特点:
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分

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