产品描述
德国Diener electronic GmbH + Co. KG公司成立于1993年，专业从事等离子表面处理设备的研发与生产， Diener等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40kHz/80kHz/100kHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。等离子产品线包含标准及特种设备，涵盖所有等离子表面处理应用领域,同时该公司接受非标定制及样品批量处理服务。
Diener等离子清洗机 ZEPTO
产品特点： Zeptp 1.7L 德国原装进口 腔体、发生器、气体流量计整体设计 两种发生器13.56MHz与100KHz，功率连续可调 高硼硅玻璃与石英两种材质腔体 操作简单（配有光盘视频） 有保障的售后服务，主要零部件国内常备库存， |
主要应用领域：
1、半导体元件、印刷线路板的清洗。
2、高分子材料表面修饰
3、生物芯片、微流控芯片的清洗
4、芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗
5、各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石的清洗。
6、光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片的清洗。
7、各种陶瓷、金属基片上的残留凝胶等杂质的清洗。
8、各种医疗器材和仪器的清洗。
9、增加复合材料、生物分子材料表面的结合力。
主要技术参数：
| 型号： | Diener Zepto |
| 等离子源： | CCP电容耦合等离子体 |
| 控制方式： | 手动控制 |
| 工艺气体： | O2、N2、Ar等 |
| 气路： | 一路工艺气路/一路填充气体 |
| 气体流量计： | 针阀浮球式气体流量计 |
| 发生器： | RF 13.56MHz,0~20W连续可调（选配） LF 100kHz 0~30W连续可调（标配） |
| 电极： | 铝/不锈钢，电极覆盖玻璃舱体外周,保证产生均匀的等离子体,分布精度+/-2% |
| 腔体材质： | 高硼硅玻璃（标配） 石英（选配） |
| 腔体尺寸： | ?105mm*L200mm 约1.7L |
| 外形尺寸： | 269*D324*H176mm |
| 电源电压： | 单相AC230V 16A |
| 真空泵： | 4m3/H,带气镇 |
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