概述

M5VC真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到1000℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至77K/10K，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。

应用

可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

技术参数

显微镜配置               显微镜/视频显微镜

显微镜                      放大倍数50倍

视频成像配置            CCD成像系统，放大倍数300倍

样品台尺寸80mm     漏电电流<10fA

真空室真空度            10-3Torr (10-6Torr或更高可选)

探针座配置               x/y/z行程40mm 精度 1μm

探针配置                  尺寸 0.5X30mm 材质 金

温度范围                  77K-570K  液氮制冷 10K-570K  液氦制冷     温度可到1000K

观察窗尺寸              100mm

真空系统                  机械泵或分子泵

接口配置                  三同轴

测试源表                  连接各类测试源表，并可进行相应的软件二次开发，加大系统整合性及测试稳定性